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氧化鋅鎵磁控濺射靶材的制備方法

1053   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:51:19
本發(fā)明屬于屬于氧化鋅材料技術(shù)領(lǐng)域,尤其是一種氧化鋅鎵磁控濺射靶材的制備方法,本發(fā)明本身具有粘結(jié)定型作用,而羥基氧化鎵本身又可以在高溫?zé)Y(jié)下形成氧化鎵,既實(shí)現(xiàn)了鎵摻雜的目的,又無需使用聚乙烯醇等有機(jī)膠黏劑無需排膠,一舉多得。以往采用有機(jī)粘結(jié)劑也好,氧化鋅粉末物理直接混合也好,實(shí)際上并不能充分混合均勻,會發(fā)生局部富集,且因?yàn)橛袡C(jī)粘結(jié)成分分解形成較大氣孔洞的存在以及氧化物的不均勻分布,以往的機(jī)械混粉工藝嚴(yán)重影響了制備的氧化鋅等濺射靶材的質(zhì)量。本發(fā)明公開的方法規(guī)避了傳統(tǒng)方法帶來的缺陷,適用于粉末冶金生產(chǎn)的用于磁控濺射沉積節(jié)能Low?E玻璃的功能介質(zhì)層以及薄膜太陽能電池透明電極層等膜層的氧化鋅鎵磁控濺射靶材。
聲明:
“氧化鋅鎵磁控濺射靶材的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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