本發(fā)明提供一種X射線平板探測器及其制備方法,所述制備方法包括:首先制備獲得薄膜晶體管,在薄膜晶體管表面形成第一導(dǎo)電類型傳輸層;然后在第一導(dǎo)電類型傳輸層表面形成有機無機雜化
鈣鈦礦層;接著在有機無機雜化鈣鈦礦層表面形成第二導(dǎo)電類型傳輸層;再在第二導(dǎo)電類型傳輸層表面形成透明頂電極層;最后在透明頂電極層表面形成鈍化層、閃爍體層。本發(fā)明采用基于有機無機雜化鈣鈦礦材料的光電二極管作為探測器光敏元件,由于鈣鈦礦膜的缺陷態(tài)密度低,可以減小被缺陷捕獲的光電子數(shù),進而可以減小探測器的殘影,提高成像性能;另外,本發(fā)明采用溶液法制備有機無機雜化鈣鈦礦光電二極管,工藝簡單,成本低,尤其適合于制備柔性X射線平板探測器。
聲明:
“X射線平板探測器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)