本發(fā)明提供了一種具有內(nèi)建電場(chǎng)的TiO2異相結(jié)紫外/深紫外探測(cè)器件及其制備方法。探測(cè)器自下而上的組成依次為透明導(dǎo)電襯底,TiO2金紅石相薄膜,TiO2銳鈦礦相薄膜和導(dǎo)電電極。其特征在于探測(cè)器具有TiO2金紅石相和銳鈦礦相組成的同質(zhì)異相結(jié),通過(guò)TiO2不同晶相間形成的內(nèi)建電場(chǎng)促進(jìn)光生載流子定向分離,降低光生載流子的復(fù)合。與傳統(tǒng)TiO2基紫外探測(cè)器相比,本發(fā)明具有無(wú)需外加偏壓,響應(yīng)速度快,響應(yīng)靈敏度高,制備方便等優(yōu)點(diǎn)。在小于385nm的紫外光照下,在沒(méi)有外加偏壓的測(cè)試條件下,自驅(qū)動(dòng)的紫外探測(cè)器的光響應(yīng)可達(dá)到1.67mA/cm2。本發(fā)明為紫外/深紫外光探測(cè)提供了一種新的方法。
聲明:
“具有內(nèi)建電場(chǎng)的TiO2異相結(jié)紫外/深紫外探測(cè)器件及制備” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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