本發(fā)明提供一種基于表面快速熱處理高純致密氧化鎂靶材的制備方法,包括以下步驟:以氧化鎂粉末為原料,以
氧化鋯球為介質(zhì),對原料進行行星球磨,研磨后的粉末進行200目篩分;將篩后粉末進行冷等靜壓成型得到氧化鎂壓坯;將氧化鎂壓坯進行真空燒結(jié),真空燒結(jié)結(jié)束后,根據(jù)所需靶材尺寸進行進行表面精密機加工至靶材表面粗糙度≤0.8μm,得到氧化鎂靶材;將氧化鎂靶材進行表面研磨,然后進行清洗,最后在真空條件下用連續(xù)波激光熱處理法、掃描電子束法或非相干寬帶頻光源法進行表面快速熱處理,得到基于表面快速熱處理高純致密氧化鎂靶材。本發(fā)明制備的氧化鎂靶材純度高、致密度好、表層與內(nèi)層組織一致,且制備方法簡單,工期短,綠色環(huán)保節(jié)能。
聲明:
“基于表面快速熱處理高純致密氧化鎂靶材的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)