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高純致密氧化鎂靶材及其制備方法

693 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 14:58:01

本發(fā)明屬于新材料制造及應用技術領域，具體涉及一種高純致密氧化鎂靶材及其制備方法。本發(fā)明對行星球磨的氧化鎂粉末進行冷等靜壓成型后真空燒結，得到近凈成形高純致密氧化鎂靶材。其中，真空燒結溫度為1400～1550℃，保溫時間為2～10h，真空度為0.1～1.0Pa。該法制備的高純致密氧化鎂靶材的致密度為98.36％以上，雜質(zhì)元素總含量為100ppm以下，平均晶粒尺寸為7μm以下，尺寸偏差為3.0μm以下，表面粗糙度Ra低于0.4μm。本發(fā)明制備的氧化鎂靶材純度和致密度高、晶粒細小均勻，本發(fā)明制備方法生產(chǎn)周期短、生產(chǎn)成本低、生產(chǎn)效率高、可批量生產(chǎn)。

聲明：

“高純致密氧化鎂靶材及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)