本發(fā)明公開了一種濺射靶材用鉬鈮合金板的制備方法,該方法為:一、將鈮粉和費(fèi)氏平均粒度為3μm~8μm的鉬粉按照1∶9的質(zhì)量比置于混料機(jī)中混合得到混合料;二、對(duì)混合料進(jìn)行振動(dòng)壓制,得到鉬鈮合金粉末壓坯;三、將鉬鈮合金粉末壓坯置于真空燒結(jié)爐內(nèi)燒結(jié),制得鉬鈮合金板坯;四、對(duì)鉬鈮合金板坯進(jìn)行機(jī)械切割,得到所需尺寸的濺射靶材用鉬鈮合金板。本發(fā)明的方法工藝流程簡(jiǎn)單,易于實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn),成品率高,制備過(guò)程不會(huì)產(chǎn)生任何廢料、廢酸等污染物。采用本發(fā)明的方法制備的鉬鈮合金板的密度不低于9.85g/cm3,滿足濺射靶材的要求。
聲明:
“濺射靶材用鉬鈮合金板的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)