本發(fā)明提供了一種抗粉化塊體吸氣劑的制備方法,步驟為:將吸氣合金中的原料按一定比例進行配制,通過熔煉的方法制備成合金,然后對合金在保護氣氛下進行破碎和球磨;將吸氣合金粉末與一定比例的鈦及鈦合金纖維均勻混合形成合金混合物;將上述合金混合物在鋼性模具中進行壓制形成壓坯;在真空度為3~5×10?3Pa的真空環(huán)境下,對壓坯進行真空燒結(jié),即可得到抗粉化能力強的塊體吸氣劑。本發(fā)明產(chǎn)生的塊體吸氣劑產(chǎn)品,在MEMS晶元級封裝中具有較好的韌性,克服了產(chǎn)品使用過程中掉粉掉渣的現(xiàn)象,能夠維持晶元封裝后在振動環(huán)境下較好的真空度,有利于延長使用壽命,并且結(jié)構(gòu)設(shè)計簡單,適合大批量生產(chǎn),可以有效地滿足用戶的需求。
聲明:
“抗粉化塊體吸氣劑及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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