本發(fā)明公開了一種濺射鍍膜用鉬旋轉(zhuǎn)靶材的制造方法,包括:將高純鉬粉末均勻地填充在管狀模具內(nèi),加壓成型制備成管狀粉質(zhì)鉬坯;將管狀粉質(zhì)鉬坯放入冷等靜壓機(jī)壓制,等靜壓致密后得到鉬坯;將成型的鉬坯放入真空燒結(jié)爐內(nèi)進(jìn)行燒結(jié),將燒結(jié)后的鉬坯放入燒結(jié)爐中,通入氫氣保護(hù),加熱、保溫后取出進(jìn)行反復(fù)錘鍛;將鍛打后的鉬坯放入真空退火爐內(nèi)進(jìn)行退火,然后鉬坯隨爐冷卻至室溫;對(duì)退火后的鉬坯加工后得到鉬旋轉(zhuǎn)靶材。本發(fā)明得到的鉬旋轉(zhuǎn)靶材具有相對(duì)密度高、加工性能優(yōu)良、靶材內(nèi)部晶粒組織均勻細(xì)小、無組織缺陷的特點(diǎn)。
聲明:
“濺射鍍膜用鉬旋轉(zhuǎn)靶材的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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