本發(fā)明公開了一種厚膜吸氣材料的制備方法,屬于電真空吸氣元件制備技術(shù)領(lǐng)域。先將非蒸散型吸氣材料粉末與有機粘結(jié)劑均勻混合,得到厚膜漿料;同時將低熔點玻璃粉與硝棉溶液或焊料與硝棉溶液混合均勻,在器件基材上均勻涂覆一層低熔點玻璃粉漿料或焊料漿料;采用澆鑄、印刷、噴涂、刷涂或刮刀涂層工藝將厚膜漿料在低熔點玻璃粉或焊料涂層表面沉積;最后進行真空燒結(jié),得到非蒸散型厚膜吸氣材料。本發(fā)明的厚膜吸氣材料克服體吸氣材料和薄膜吸氣材料的劣勢,有效地同時解決裝配空間和吸氣容量不能兼容的問題,并且采用了一種由底層焊接層和吸氣材料層組成的復(fù)合雙層結(jié)構(gòu),提高了非蒸散型厚膜吸氣材料在器件基底上的附著強度,提高了器件的可靠性。
聲明:
“厚膜吸氣材料的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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