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金剛石-硅復(fù)合封裝材料的制備方法

818   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:58:54
本發(fā)明涉及一種高導(dǎo)熱、低膨脹金剛石-硅復(fù)合封裝材料的制備方法,屬于電子封裝材料領(lǐng)域。步驟為:①將金剛石微粒和體積分?jǐn)?shù)40~70%硅粉與微量燒結(jié)助劑均勻混合,燒結(jié)助劑為Al或Ti粉;②將裝有混合物的石墨模具放入SPS,加壓20~30MPa并抽真空;③快速燒結(jié),燒結(jié)時(shí)保溫溫度設(shè)定為1250~1370℃,燒結(jié)過(guò)程中采用惰性氣體或真空,燒結(jié)壓力為40~60MPa;④燒結(jié)結(jié)束后進(jìn)行隨爐冷卻并在1000℃以下卸掉壓力,獲得致密無(wú)微裂紋的復(fù)合材料。本發(fā)明避免了燒結(jié)時(shí)間過(guò)長(zhǎng)造成的金剛石石墨化及硅基體氧化等問(wèn)題;可以通過(guò)改變?cè)系呐浔鹊玫礁鞣N不同金剛石含量的復(fù)合材料,可操作性強(qiáng),工藝簡(jiǎn)單。并且所制得的復(fù)合材料熱導(dǎo)率高達(dá)515W/mK,熱膨脹低于1.5×10-6/K,致密度達(dá)99.6%以上,可用于電子封裝等領(lǐng)域。
聲明:
“金剛石-硅復(fù)合封裝材料的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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