本發(fā)明公開了一種新型管狀I(lǐng)TO靶材的制備方法，其特征在于：所述ITO粉末以銦錠和四氯化錫為原料，通過工序制備得到重量百分比In2O3:SnO2＝96:3、純度≥99.98％、粒度為0.7～1.5μm的ITO，所述ITO粉末通過化學(xué)共沉淀、脫水、煅燒及球磨的工序制備而成，通過化學(xué)共沉淀、脫水、煅燒及球磨等現(xiàn)有技術(shù)對(duì)原料進(jìn)行處理得到ITO粉，再通過對(duì)ITO粉進(jìn)行真空燒結(jié)、降溫制備得到ITO靶材，方法簡(jiǎn)單，操作方便，便于推廣使用，從而在制備中不容易出現(xiàn)管狀I(lǐng)TO靶材組織的偏析現(xiàn)象，晶粒不是很微細(xì)均勻，純度也不是很高的問題，并且具有尺寸大型化制作、高密度化、符合多種領(lǐng)域的使用，這樣提高了管狀I(lǐng)TO靶材的領(lǐng)域使用，從而具有很好的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力度，不容易被市場(chǎng)所淘汰。