本發(fā)明公開了一種鉻鋁硼合金復(fù)合靶材及其制備方法,該復(fù)合靶材具有雙層結(jié)構(gòu),上層以鉻鋁硼合金靶材為基體,底層是銅背板,上層結(jié)合于底層上;鉻鋁硼合金靶材按原子百分比由以下成分組成:Cr:19?70%,Al:20?80%,B:0?30%且B不為0;該制備方法采用CrB2合金粉為原料,包括以下步驟:CrB2合金粉的制備、CrAlB合金粉的制備、CrAlB錠坯的制備、預(yù)處理和CrAlB?Cu復(fù)合靶材的制備。本發(fā)明制備的CrAlB合金靶材純度高,致密度高,組織均勻無偏析,導(dǎo)熱性能和塑性都有改善;復(fù)合靶材在高的濺射功率或功率密度下使用時(shí),靶材裝夾部位能承受機(jī)械應(yīng)力和熱應(yīng)力作用,既不脆性斷裂也不受力彎曲翹曲。
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“鉻鋁硼合金復(fù)合靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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