一種超大型細(xì)晶鉬平面靶的制備方法,采用純度>99.95%的鉬粉制得,其中,鉬平面靶的長度>450㎜,寬度>320㎜,厚度>75㎜,制備方法是:取鉬粉裝入膠膜內(nèi),靜壓成型,后置于中頻爐,氫氣氣氛下燒結(jié)成板坯后,置入模具中,鍛打板坯模具,后置入回火爐,退火,形成細(xì)晶組織,精細(xì)加工、清洗、干燥后制得鉬平面靶。本發(fā)明克服了燒結(jié)和鍛打的工藝缺陷,工藝簡單,易工業(yè)化生產(chǎn)控制,降低污染,成本低,質(zhì)量提高,生產(chǎn)效率極大提高。
聲明:
“超大型細(xì)晶鉬平面靶的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)