本實(shí)用新型公開了一種高速離心式
功能材料成膜裝置,它包括成膜基板及成膜材料發(fā)射源,所述成膜基板為圓筒狀,固定在旋轉(zhuǎn)筒內(nèi)筒壁上,旋轉(zhuǎn)筒與電機(jī)連接,成膜材料發(fā)射源置于旋轉(zhuǎn)筒內(nèi)。它由電機(jī)帶動旋轉(zhuǎn)筒和成膜基板一起高速旋轉(zhuǎn),使成膜材料產(chǎn)生離心力,而快速沉積在成膜基板而成膜,它具有成膜速度快、質(zhì)量好等優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“高速離心式功能材料成膜裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)