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功能器件陣列及其制作裝置和制作方法

1122 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 15:02:30

本發(fā)明提供了一種功能器件陣列及其制作裝置和制作方法，包括：產(chǎn)生系統(tǒng)，所述產(chǎn)生系統(tǒng)用于將生成的聲表面駐波作用于功能材料溶液，以使所述功能材料溶液的表面形成液體尖峰陣列；定位系統(tǒng)，所述定位系統(tǒng)用于將目標基板移動至所述功能材料溶液的液體尖峰處，且將所述目標基板的功能區(qū)表面陣列與功能材料溶液的液體尖峰陣列對位設置，其中，所述功能材料溶液的液體尖峰與所述目標基板的功能區(qū)表面接觸，而在所述目標基板的功能區(qū)表面處形成功能材料液滴，且所述功能材料液滴揮發(fā)后形成所述功能器件。本發(fā)明提出了一種新型的制作工藝及裝置。無需將功能材料溶液通過噴嘴噴涂，不僅避免了資源的浪費，還實現(xiàn)了高密度功能器件陣列的制備。

聲明：

“功能器件陣列及其制作裝置和制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)