本發(fā)明提供了一種化學氣相沉積金剛石或其它物質(zhì)的裝置,涉及
功能材料制備技術(shù)領域。本裝置包括直流電弧噴射等離子炬,真空室,襯底,在真空室和等離子炬間設有氣體回用機構(gòu)。與已有技術(shù)對比,本發(fā)明很好地解決了現(xiàn)有技術(shù)利用直流電弧噴射法化學氣相沉積金剛石過程中長期存在的氣體消耗量大的問題,其結(jié)構(gòu)簡單,工藝合理,不僅能保證產(chǎn)品的質(zhì)量,而且可大大節(jié)省工質(zhì)氣體用量,大大降低成本,減少排放,有利于環(huán)保,具有良好的經(jīng)濟效益和社會效益。
聲明:
“化學氣相沉積金剛石或其它物質(zhì)的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)