本發(fā)明利用等離子體氣相化學(xué)沉積類金剛石膜方法，采用多層弧面高頻電極、可溶性襯底及襯底連續(xù)移動(dòng)裝置設(shè)計(jì)的類金剛石粉生產(chǎn)設(shè)備，解決了用于生產(chǎn)類金剛石粉的設(shè)備及其不間斷連續(xù)運(yùn)行的問(wèn)題。從而實(shí)現(xiàn)了類金剛石粉的工業(yè)化生產(chǎn)。類金剛石與金剛石性能并不完全相同，具有優(yōu)異的力學(xué)、化學(xué)、光學(xué)、電學(xué)、熱學(xué)性能，屬于新材料領(lǐng)域的功能材料。類金剛石(簡(jiǎn)稱DLC)粉可以應(yīng)用于制造研磨、拋光劑，抗化學(xué)腐蝕表面處理涂層，防紫外線涂層，抗老化劑，防曬護(hù)膚霜，集成電路熱沉，高能電容器，化工催化劑、添加劑等產(chǎn)品的生產(chǎn)原料。在航天、軍工、電子、機(jī)械、化工等行業(yè)具有廣闊的應(yīng)用前景。