本發(fā)明提供了一種化學氣相沉積/滲透裝置和制備陶瓷基復合材料的方法，屬于功能材料制備技術領域。本發(fā)明中裝置包括前驅(qū)體輸運系統(tǒng)和反應爐，所述前驅(qū)體輸運系統(tǒng)包括并聯(lián)設置的氣態(tài)前驅(qū)體輸運系統(tǒng)和液態(tài)前驅(qū)體輸運系統(tǒng)。本發(fā)明通過并聯(lián)設置氣態(tài)前驅(qū)體輸運系統(tǒng)和液態(tài)前驅(qū)體輸運系統(tǒng)，實現(xiàn)氣態(tài)前驅(qū)體和液態(tài)前驅(qū)體的輸運，采用第I氣體計量裝置調(diào)控氣態(tài)前驅(qū)體輸運通道中氣態(tài)前驅(qū)體、載氣和稀釋氣的流量，液態(tài)前驅(qū)體先通過液體計量裝置調(diào)控流量后再加熱汽化通入反應爐(采用第II氣體計量裝置調(diào)控液態(tài)前驅(qū)體輸運通道中載氣和稀釋氣的流量)，液態(tài)前驅(qū)體可以精確調(diào)控，操作方便，最終可以實現(xiàn)具有不同界面相以及不同基體的陶瓷基復合材料的高效制備。