2/VO2/HfO2三明治結(jié)構(gòu)智能窗薄膜及其制備方法,功能材料"> 2/VO2/HfO2三明治結(jié)構(gòu)智能窗薄膜及其制備方法,本發(fā)明公開了一種HfO2/VO2/HfO2三明治結(jié)構(gòu)智能窗薄膜及其制備方法,屬于功能材料和薄膜技術(shù)領(lǐng)域。所述HfO2/VO2/HfO2三明治結(jié)構(gòu)智能窗薄膜的制備方法為:將無堿玻璃進(jìn)行清洗、干燥;沉積之前,先將背底抽真空,沉積第一層HfO2緩沖層,然后將襯底溫度升高,并調(diào)節(jié)氧壓,沉積VO2薄膜;再將襯底溫度降低,同時將氧壓調(diào)低,開始沉積HfO2增透層,沉積完成后,即得所述HfO2/VO2/HfO2三明治結(jié)構(gòu)智能窗薄膜。該HfO2/VO2/HfO2三明治結(jié)構(gòu)智">
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