本實用新型屬于
功能材料領(lǐng)域,涉及一種旋轉(zhuǎn)鉻硅靶材,其包括背管,背管外設(shè)有釬焊層,釬焊層外設(shè)有鉻硅合金管;背管的一端設(shè)有內(nèi)密封面和卡槽,背管的另一端設(shè)有定位槽和法蘭。本實用新型安裝方便省時,在長時間的工作過程中,能夠穩(wěn)定的旋轉(zhuǎn),均勻的濺射,不會產(chǎn)生起弧現(xiàn)象,并且杜絕了氣孔和積瘤的產(chǎn)生;由于此靶材采用的是內(nèi)密封方式,背管受力很小,幾乎不會產(chǎn)生變形,避免了背管變形導(dǎo)致的靶材開裂現(xiàn)象。
聲明:
“旋轉(zhuǎn)鉻硅靶材” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)