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顯示基板及其制作方法、顯示裝置

690   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:10:02
本發(fā)明公開一種顯示基板及其制作方法、顯示裝置,涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,為解決通過一次構(gòu)圖工藝同時(shí)形成層疊設(shè)置的兩層功能圖形時(shí),無法實(shí)現(xiàn)上層功能圖形和下層功能圖形精確的尺寸對(duì)應(yīng)關(guān)系,導(dǎo)致對(duì)顯示基板的工作性能產(chǎn)生影響的問題。所述制作方法包括:在基底上依次形成層疊設(shè)置的第一過渡功能圖形、第二過渡功能圖形和光刻膠圖形,光刻膠圖形覆蓋第二過渡功能圖形的邊緣區(qū)域;對(duì)光刻膠圖形進(jìn)行烘烤,使部分光刻膠圖形覆蓋第二過渡功能圖形的側(cè)表面;以烘烤后的光刻膠圖形為掩膜,對(duì)第二過渡功能圖形進(jìn)行濕法刻蝕,形成第二目標(biāo)功能圖形,并對(duì)第一過渡功能圖形進(jìn)行刻蝕,形成第一目標(biāo)功能圖形。本發(fā)明提供的制作方法用于制作顯示基板。
聲明:
“顯示基板及其制作方法、顯示裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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