本發(fā)明屬于微電子器件和功能無機(jī)薄膜技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種可擦寫、可讀出的無機(jī)薄膜電雙穩(wěn)器件及其制作方法。器件結(jié)構(gòu)為:金屬-無機(jī)介質(zhì)層-金屬(M1-Inorganic-M2)結(jié)構(gòu),二端的金屬層做電極。其中的無機(jī)介質(zhì)層由真空熱蒸發(fā)沉積的硫氰酸鉀薄膜與部分銅底電極反應(yīng)獲得的薄膜(簡稱:CN)。這種夾層結(jié)構(gòu)的薄膜器件具有非常好的可逆電雙穩(wěn)特性,高電阻態(tài)和低電阻態(tài)的阻值比可以大于105;“寫-讀-擦-讀”次數(shù)可達(dá)到數(shù)百次以上。本發(fā)明的電雙穩(wěn)器件,其結(jié)構(gòu)和制作工藝簡單,在信息存貯、信息處理以及邏輯運(yùn)算領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用價(jià)值。
聲明:
“可擦寫、可讀出的無機(jī)薄膜電雙穩(wěn)器件及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)