本發(fā)明公開的后置分光瞳激光差動(dòng)共焦LIBS光譜顯微成像方法與裝置，屬于共焦顯微成像和光譜成像測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明將后置分光瞳激光差動(dòng)共焦顯微成像技術(shù)與激光誘導(dǎo)擊穿光譜探測(cè)技術(shù)結(jié)合，利用經(jīng)超分辨技術(shù)處理的后置分光瞳差動(dòng)共焦顯微鏡的微小聚焦光斑對(duì)樣品進(jìn)行高空間分辨形態(tài)成像，利用光譜探測(cè)系統(tǒng)對(duì)聚焦光斑激發(fā)的激光誘導(dǎo)擊穿光譜進(jìn)行微區(qū)光譜探測(cè)，利用LIBS光譜探測(cè)和后置分光瞳差動(dòng)共焦探測(cè)結(jié)構(gòu)融合實(shí)現(xiàn)樣品微區(qū)完整組分信息與形態(tài)參數(shù)的高空間分辨和高靈敏成像與探測(cè)。本發(fā)明可為生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、礦產(chǎn)、微納制造等領(lǐng)域形態(tài)成像及物質(zhì)組分探測(cè)提供一條全新的有效技術(shù)途徑。