本發(fā)明涉及一種制備大面積透射電鏡樣品的方法,將樣品切割研磨成長(zhǎng)條,然后用氬離子束進(jìn)行離子切割目標(biāo)區(qū)域厚度到10μm;之后,把樣品轉(zhuǎn)移到離子束拋光設(shè)備上平整放置,樣品臺(tái)可以調(diào)節(jié)角度,且能夠旋轉(zhuǎn)和擺動(dòng),用氬離子束依次用18°、12°、9°、6°、3°角對(duì)樣品進(jìn)行拋光減薄,用體視鏡可以觀察樣品變化;最后用低電壓的離子束進(jìn)行樣品的清洗,避免了樣品制備過(guò)程中產(chǎn)生的非晶層,可以獲得高質(zhì)量具有大面積薄區(qū)的透射電鏡樣品,從而應(yīng)用于礦物、隕石等復(fù)雜材料的透射電鏡測(cè)試和結(jié)合納米粒子探針/電子探針等原位分析技術(shù)中。
聲明:
“大面積薄區(qū)透射電鏡樣品的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)