本發(fā)明屬于金屬元素的精確定量分析技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種金屬元素的精確定量分析方法，包括：采集地質(zhì)樣品并將采集的地質(zhì)樣品制成測(cè)試樣品，對(duì)X射線發(fā)射裝置進(jìn)行校正；利用校正后的X射線發(fā)射裝置照射所述測(cè)試樣品，并采集樣品熒光圖像；同時(shí)對(duì)采集的樣品熒光圖像進(jìn)行處理與分析，確定金屬雜質(zhì)的含量；利用其他檢測(cè)設(shè)備對(duì)制備的測(cè)試樣品進(jìn)行分析測(cè)試；基于確定的金屬雜質(zhì)的含量、分析測(cè)試結(jié)果以及熒光圖像進(jìn)行金屬元素的精確定量分析。本發(fā)明通過對(duì)金屬雜質(zhì)含量進(jìn)行測(cè)定方法可以大大提高測(cè)定金屬雜質(zhì)含量準(zhǔn)確性；同時(shí)，本發(fā)明能夠全面的對(duì)地質(zhì)樣品的金屬元素進(jìn)行分析，提高了分析結(jié)果的準(zhǔn)確性，且分析成本低，分析效率高。