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單晶硅爐用炭/炭復合材料坩堝的制備工藝

739   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 16:28:01
本發(fā)明公開了一種單晶硅爐用炭/炭復合材料坩堝的制備工藝,該方法采用聚丙烯腈基碳纖維編制的預制體,以天然氣、丙烯、石油液化氣的混合氣體為碳源,氮氣或氬氣為載氣,在立罐式沉積爐形成的均溫熱場內(nèi),定時切換管路的上進氣與下進氣,利用坩堝內(nèi)外氣體的壓力差,實現(xiàn)均溫法、壓差法、強制氣流法相結(jié)合,實現(xiàn)坩堝坯體整體的快速致密化,坩堝在300至350小時后,密度可達到1.6g/cm3以上,較傳統(tǒng)自由沉積工藝大大縮短沉積時間,降低了生產(chǎn)成本。坩堝經(jīng)機械加工后,用于單晶硅爐熱場,炭/炭復合材料坩堝較熱等靜壓石墨坩堝壽命提高了3至5倍,性價比明顯優(yōu)于石墨坩堝,大大降低了單晶硅生產(chǎn)的成本和勞動強度。
聲明:
“單晶硅爐用炭/炭復合材料坩堝的制備工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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