本實用新型涉及氣相沉積爐加熱技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及用于
復(fù)合材料氣相沉積爐的中心加熱器結(jié)構(gòu),解決了現(xiàn)有氣相沉積爐加熱部件管路繁多,成本高的缺點,包括轉(zhuǎn)盤、貫穿轉(zhuǎn)盤軸心設(shè)置的供氣管以及轉(zhuǎn)動電機,通過在供氣管的外部套接菱形盤,并通過轉(zhuǎn)動電機驅(qū)動套設(shè)在供氣管外部的轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動,使得轉(zhuǎn)盤頂部循環(huán)箱內(nèi)設(shè)置的推拉桿作用在菱形盤外部,在轉(zhuǎn)動電機驅(qū)動轉(zhuǎn)動的過程中,菱形盤會配合復(fù)位彈簧實現(xiàn)推拉桿的往復(fù)傳動,從而推動置于循環(huán)箱內(nèi)的活塞配合兩個單向閥循環(huán)抽取換熱管內(nèi)的導(dǎo)熱液,以此提高導(dǎo)熱液的導(dǎo)熱效率,并在轉(zhuǎn)動電機的作用下,在爐體內(nèi)部軸向轉(zhuǎn)動,能夠為爐體內(nèi)部進行均勻供熱,結(jié)構(gòu)簡單,且大大降低了加熱成本,實用性強。
聲明:
“用于復(fù)合材料氣相沉積爐的中心加熱器結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)