本發(fā)明提供了一種復(fù)合薄膜，該薄膜含有二氧化鈦和二氧化硅；所述二氧化鈦為氮摻雜二氧化鈦，其中，以薄膜的總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)，所述二氧化鈦的摩爾百分比為9.8-49.8%，所述二氧化硅的摩爾百分比為44.8-88.2%，所述氮元素的摩爾百分比為0.4-2%，所述二氧化硅為球形，二氧化硅的平均粒徑為80-100nm。本發(fā)明還提供了該薄膜的制備方法及含有該薄膜的復(fù)合材料。本發(fā)明的薄膜的透光率高且自清潔能力強(qiáng)。