示例性實施例可提供一種相變材料層和形成相變材料層的方法以及使用相變材料層的裝置,形成相變材料層的方法包括以下步驟:在反應室中產生包括氬和/或氦的等離子體;將包括第一材料的第一源氣體引入,以在目標物上形成第一材料層;將包括第二材料的第二源氣體引入到反應室中,在目標物上形成第一復合材料層,將包括第三材料的第三源氣體引入,以在第一復合材料層上形成第三材料層;將包括第四材料的第四源氣體引入,以在第一復合材料層上形成第二復合材料層。示例性實施例的含碳的相變材料層可在氦/氬等離子體環(huán)境以及低溫條件下通過在各種供給時間內提供源氣體更加容易和/或快速地形成。示例性實施例還可包括使用相變存儲層的存儲裝置。