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低功耗高穩(wěn)定性的相變存儲單元及制備方法

957   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:07:00
本發(fā)明提供的一種低功耗高穩(wěn)定性的相變存儲單元,包括基底層、相變材料區(qū)、電極以及將所述相變材料區(qū)全部包裹的介質(zhì)材料包覆層,且所述介質(zhì)材料包覆層的材料為不與所述相變材料發(fā)生反應(yīng)的材料,相變材料區(qū)的相變材料可為純相變材料,也可為相變材料和介質(zhì)材料構(gòu)成的摻雜材料,或者為相變材料和介質(zhì)材料構(gòu)成的復(fù)合材料等。本發(fā)明還提供了制備低功耗高穩(wěn)定性的相變存儲單元的方法,所形成的相變存儲單元可以有效抑制相變材料中各元素的擴(kuò)散和揮發(fā),有利于材料性能的穩(wěn)定,同時(shí)抑制了相變材料晶粒的長大,提升了材料的電阻率,降低了器件功耗。
聲明:
“低功耗高穩(wěn)定性的相變存儲單元及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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