一種在金剛石/銅復合基體表面制備Mo/AlN/BN涂層的方法，涉及一種復合材料表面處理。在金剛石/銅復合基體表面磁控濺射沉積金屬Mo過渡層；在金屬Mo過渡層上反應濺射沉積AlN薄膜；在AlN薄膜上沉積BN抗氧化保護層。在經過離子源轟擊清洗的金剛石/銅復合基體表面，先沉積金屬Mo過渡層，以緩解基體與涂層熱膨脹系數失陪問題，并增強膜-基結合強度；然后采用反應磁控濺射方法沉積AlN薄膜；最后沉積一層具有高熱導率的BN抗氧化保護層，提高涂層的抗氧化性能?？稍诮饎偸?銅復合基體表面制備具有高絕緣性、低相對介電系數、低介電損耗、高導熱率，且結合良好、性能穩(wěn)定的Mo/AlN/BN涂層。