一種光開關(guān)低溫有機(jī)-無機(jī)復(fù)合薄膜的制備方法,采用改進(jìn)的溶膠-凝膠技術(shù)結(jié)合低溫有機(jī)-無機(jī)復(fù)合技術(shù)設(shè)計(jì)制備了一種具有紫外光敏特性的低溫有機(jī)-無機(jī)復(fù)合光開關(guān)材料。該材料含有硅和鈦有機(jī)-無機(jī)復(fù)合基質(zhì)中摻有偶氮苯功能基團(tuán)。本發(fā)明的有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料可作為集成光波導(dǎo)材料以及作為光開關(guān)特性材料,由于可在低于100℃的低溫下在各種玻璃和半導(dǎo)體基片上實(shí)現(xiàn)數(shù)微米厚的單層高光學(xué)質(zhì)量的光波導(dǎo)薄膜,從而有利于實(shí)現(xiàn)光源、探測(cè)器和波導(dǎo)器件的集成化。