本發(fā)明涉及一種具有防護環(huán)的微機電元件與制作方法。該具有防護環(huán)的微機電元件包含一連接墊以及圍繞該連接墊且與之相接的側(cè)壁,其特征在于:該側(cè)壁由抗蝕刻的材料形成防護環(huán)。
聲明:
“具有防護環(huán)的微機電元件與制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)