一種絕緣基板(1),其包括:電絕緣層(2)、形成于電絕緣層(2)的一面并且由導(dǎo)電材料粉末的放電等離子燒結(jié)體形成的配線層(3)、和形成于電絕緣層(2)的另一面且由合金粉末或構(gòu)成金屬
復(fù)合材料的混合粉末的放電等離子燒結(jié)體形成的應(yīng)力緩和層(4)。配線層(3)由從Al粉末、Cu粉末、Ag粉末和Au粉末中選出的1種粉末的放電等離子燒結(jié)體形成。應(yīng)力緩和層(4)由從Al-Si合金粉末、Cu粉末與Mo粉末的混合粉末、Cu粉末與W粉末的混合粉末、Al粉末與SiC粉末的混合粉末以及Si粉末與SiC粉末的混合粉末中選出的1種粉末的放電等離子燒結(jié)體形成。根據(jù)該絕緣基板,可以得到可防止散熱性能的降低、并且實(shí)現(xiàn)耐久性的提高的功率模塊。
聲明:
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