基板載置用托盤(pán),可以包括:主體、引導(dǎo)部等。所述主體可以具有具備了載置基板的第一面的平板結(jié)構(gòu),并且可以由碳-碳
復(fù)合材料構(gòu)成。所述引導(dǎo)部,可以引導(dǎo)所述基板向著所述主體,從而使所述基板載置于各自規(guī)定的位置。在
太陽(yáng)能電池基板上形成薄膜時(shí),所述基板載置用托盤(pán)可以實(shí)施為,在等離子氛圍下的高溫工序中也可以穩(wěn)定地維持物理特性,并且可以形成為載置更多數(shù)量的基板的大面積。
聲明:
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