本發(fā)明公開(kāi)了一種激光燒蝕靶材及其制備方法,上述激光燒蝕靶材,依次由(氯乙烯-乙酸乙烯酯)共聚物層、
復(fù)合材料層和聚甲基丙烯酸乙烯酯層制成,各層之間涂有粘合劑。本發(fā)明還提供了上述激光燒蝕靶材的制備方法。本發(fā)明的操作工藝簡(jiǎn)單方便,可以通過(guò)該方法生產(chǎn)不同組成厚度、不同寬度的激光燒蝕靶材。
聲明:
“激光燒蝕靶材及其制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)