本發(fā)明公開了一種硅基MEMS單元結(jié)合線圈陣列的柔性多模式觸覺傳感器，包括底板、彈性體、硅基MEMES壓力傳感器單元、磁體、磁感應線圈陣列；彈性體、硅基MEMES壓力傳感器單元與磁感應線圈陣列設(shè)置于底板；磁體設(shè)置于彈性體中。使用硅基MEMS測壓單元，無導電復合材料的電阻蠕變和電容式測壓單元寄生電容的影響，精度高、穩(wěn)定性良好；磁感應線圈陣列通過電磁感應產(chǎn)生電信號檢測切向力的方向和大小，精度高，響應快，適合于動態(tài)力測量和滑動狀態(tài)的檢測。