本發(fā)明公開了一種制備非晶/納米晶多層結(jié)構(gòu)薄膜的方法。該材料的特征是：薄膜由兩種完全不同的晶體結(jié)構(gòu)（納米晶，非晶）構(gòu)成，并呈現(xiàn)非晶層和納米晶層交替更迭的多層結(jié)構(gòu)。該工藝制備的薄膜結(jié)構(gòu)致密，界面層清晰，可以很容易通過控制不同層薄膜厚度尺寸（尺寸可以達(dá)到納米級別），控制非晶層、納米晶層的調(diào)制比例，實(shí)現(xiàn)等調(diào)制比變化，甚至是漸變調(diào)制比變化等，為研究非晶合金在微小尺寸下的剪切帶形變行為以及其尺寸效應(yīng)提供一種新的研究方法，并且為非晶合金塑韌性等力學(xué)性能的改進(jìn)提供了一種新的途徑，從而為制備力學(xué)性能可控的非晶/納米晶復(fù)合材料提供可能。同時(shí)，該方法操作簡單，成本較低，易于在工業(yè)上實(shí)現(xiàn)和推廣。