本發(fā)明涉及一種新型的復合金屬誘導制備以及催化處理石墨烯獲得石墨烯網(wǎng)格結構，利用該網(wǎng)格結構制備石墨烯晶體管，屬于納米材料微電子領域。其技術特征在于：采用復合金屬薄膜，利用化學氣相沉積法生長石墨烯，石墨烯層數(shù)為1-20，采用小孔模板衍射輔助氧化鈦光催化方法，獲得石墨烯網(wǎng)格結構，利用該網(wǎng)格結構作為溝道層，制備石墨烯場效應管晶體管。本發(fā)明工藝簡單，過程易控制，導電性能優(yōu)異，制備成本低，適合于低維復合材料及微納電子領域。