提供用于處理物品的系統(tǒng)、設(shè)備和方法。該系統(tǒng)包括用于合成、預(yù)處理、進(jìn)行氣相涂層過程和以粉末和固體或多孔工件的形式對物品進(jìn)行后處理的子系統(tǒng)。該設(shè)備允許氣相合成、處理和沉積過程以高效率和高總吞吐量進(jìn)行。該方法包括將固體、液體或氣體轉(zhuǎn)化為氣體和固體流,這些流可以用或不用處理和/或涂層步驟分離或交換,并為特定應(yīng)用生產(chǎn)優(yōu)化的
復(fù)合材料。
聲明:
“合成、功能化、表面處理和/或封裝粉末的制造工藝及其應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)