本發(fā)明公開了一種寬域型氧傳感器片芯及其制造方法。其片芯依次為它由多孔陶瓷保護(hù)層(1),泵電池上電極(2),泵電池介質(zhì)層(3),泵電池參考電極(4),參考電池介質(zhì)層(5),參考電池電極層(6),參考?xì)馐覍樱?),梯度連接層(8),上基板層(9),加熱電路層(10)和下基板層(11)依次相疊構(gòu)成;梯度連接層(8)采用梯度
復(fù)合材料過渡技術(shù),有效地解決了
異質(zhì)材料間的結(jié)合問題;泵電池介質(zhì)層上有一擴(kuò)散孔及上下相對(duì)應(yīng)的環(huán)形電極;參考電池介質(zhì)層上有一擴(kuò)散小腔,擴(kuò)散小腔內(nèi)采用多孔陶瓷填料支撐技術(shù),確保了腔體的形成和信號(hào)的靈敏度;各層采用流延成型和絲網(wǎng)印刷相結(jié)合方式,依次定位、疊壓和切割,制成氧傳感器片芯胚體,燒結(jié)制成致密的氧傳感器片芯。
聲明:
“寬域型氧傳感器片芯及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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