本發(fā)明公開了一種Cu?Ta合金及其制備方法，Cu?Ta合金由以下成分組成，Ta原子百分比1.0～35.0，其余為Cu。制備方法具體步驟如下：步驟1：首先對(duì)硅基體表面進(jìn)行超聲清洗并烘干；步驟2：將基盤送入磁控濺射鍍膜室抽真空；步驟3：采用直流電源共濺射制備Cu?Ta合金；步驟4：待樣品在真空室充分冷卻后退出。本發(fā)明能夠避免材料中合金元素分布不均勻的出現(xiàn)，根據(jù)成分不同，所得合金為納米晶與非晶的復(fù)合材料，有效改善了合金材料的綜合力學(xué)性能。