本發(fā)明公開了一種天然氣化學(xué)氣相沉積爐用炭/炭內(nèi)膽的制備方法,采用炭纖維針刺體作為預(yù)制體材料,經(jīng)過樹脂涂刷處理、化學(xué)氣相沉積致密以及成套組裝的工藝過程。該方法具體步驟為:一、采用炭纖維針刺體作為預(yù)制體材料;二、硬化定型;三、樹脂浸漬液的配置及涂刷;四、固化/炭化處理;五、化學(xué)氣相沉積致密;六、組裝成套。本發(fā)明采用炭/炭
復(fù)合材料作為天然氣化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)膽,具有耐高溫、強(qiáng)度高、隔熱性能好且不易分層等特點(diǎn),并且工藝簡單、制造成本低、使用壽命長、不容易變形,大大提高化學(xué)氣相沉積爐的使用壽命和安全性能,同時可以保護(hù)沉積爐電極,減少電極材料的更換率。
聲明:
“天然氣化學(xué)氣相沉積爐用炭/炭內(nèi)膽的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)