本發(fā)明公開了一種基于納米粒子修飾的金剛石薄膜及其制備方法。所述納米粒子修飾的金剛石薄膜以硅基材料、金屬材料或者
復(fù)合材料為基底,在基底上表面濺射金屬Ni作為過渡層;在過渡層表面通過化學(xué)氣相沉積法,合理優(yōu)化氫氣、氬氣和甲烷氣體的流量、氣體壓強(qiáng)、基底溫度、沉積時(shí)間,使膜基上的附著力增強(qiáng)。最后對(duì)制備的金剛石薄膜表面進(jìn)行化學(xué)腐蝕,并涂覆納米二氧化鈦粒子,改善金剛石薄膜表面疏水性能和自清潔性能。本發(fā)明制備的金剛石薄膜可以,本發(fā)明制備的金剛石薄膜,可廣泛應(yīng)用于機(jī)械、工模具、刀具、汽車、電子、光學(xué)、裝飾外觀保護(hù),如手表外殼、首飾配件、手機(jī)外殼等領(lǐng)域。
聲明:
“基于納米粒子修飾的金剛石薄膜及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)