本實用新型涉及一種雙行程混合驅(qū)動微納米壓痕/劃痕測試裝置,屬于精密傳感器及精密儀器技術(shù)領(lǐng)域。由混合驅(qū)動單元、載荷檢測與量程切換單元、位移檢測單元、樣品移動單元、基座、支撐板和導(dǎo)軌滑塊組件組成。本實用新型利用音圈電機、壓電疊堆?柔性鉸鏈實現(xiàn)混合驅(qū)動,通過調(diào)整屏蔽罩(架)與力傳感器裝配關(guān)系,采用分段載荷檢測與量程切換方式,結(jié)合位移檢測單元可實現(xiàn)不同加載行程和壓入載荷的精確測量,并集成樣品移動單元用于實現(xiàn)對樣品的壓入位置更換以及劃痕測試。采用模塊化設(shè)計思路,結(jié)構(gòu)緊湊,安全可靠,既可實現(xiàn)對塊狀金屬材料、薄膜材料及
復(fù)合材料等常規(guī)納米壓痕/劃痕測試,又可對生物組織等軟材料進行大行程加載測試,實用性更強。
聲明:
“雙行程混合驅(qū)動微納米壓痕/劃痕測試裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)