本實用新型公開一種單晶爐用組合坩堝,包括相互扣合的堝筒和堝碗,所述堝筒包括上堝環(huán)、下堝環(huán)、N根堝條以及2N個緊固件,N根所述堝條的兩端分別可拆卸的連接所述上堝環(huán)和下堝環(huán)并形成筒狀結(jié)構(gòu),相鄰兩根所述堝條之間具有間隙,所述下堝環(huán)可拆卸的連接堝碗;其中N個所述緊固件連接所述上堝環(huán)與堝條的一端,另外N個所述緊固件連接所述下堝環(huán)與堝條的另一端。本實用新型采用上堝環(huán)、下堝環(huán)、多條堝條以及緊固件實現(xiàn)堝筒的整體結(jié)構(gòu)設(shè)計,結(jié)構(gòu)簡單,安裝拆卸方便;在制造半導(dǎo)體硅單晶的過程中出現(xiàn)堝筒局部破損或失效時,只需更換部分堝條或上堝環(huán)、下堝環(huán),而不會造成整個坩堝報廢,節(jié)約了碳?碳
復(fù)合材料資源,降低了半導(dǎo)體硅單晶的生產(chǎn)成本。
聲明:
“單晶爐用組合坩堝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)