一種遙感勘測領(lǐng)域的微電子機械系統(tǒng)次聲傳感器陣列遙感勘測系統(tǒng)。其數(shù)據(jù)檢測控制系統(tǒng)對掃描定向控制系統(tǒng)進行控制;掃描定向控制系統(tǒng)對超低頻聲波發(fā)射系統(tǒng)和微電子機械頻率耦合傳感器陣列控制并將反饋信息傳遞給數(shù)據(jù)分析系統(tǒng);超低頻聲波集束發(fā)射系統(tǒng)向地質(zhì)結(jié)構(gòu)發(fā)射檢測聲波,通過微電子機械頻率耦合傳感器陣列;微電子機械頻率耦合傳感器陣列接收并進行低頻信號混頻耦合,將低頻信號轉(zhuǎn)化成中頻頻率信號,將測量頻率耦合信號傳遞給模數(shù)轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)傳輸網(wǎng)絡(luò)進行模擬數(shù)字信號轉(zhuǎn)換,同時將測量數(shù)據(jù)傳輸給數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)與數(shù)據(jù)檢測控制系統(tǒng)進行信息交換,分析數(shù)據(jù)結(jié)果及反饋信息傳遞給數(shù)據(jù)檢測控制系統(tǒng)。該系統(tǒng)測試速度快、快速反應(yīng)能力強、數(shù)據(jù)傳輸質(zhì)量高。