本實用新型提出一種上下分體直拉單晶坩堝,其特征在于坩堝包括坩堝壁和坩堝底上下兩部分。本實用新型通過將坩堝分成坩堝壁和坩堝底上下兩部分,有效減小了過渡部分“R”部的應力,避免了單晶爐在單晶硅生長過程中的,
石墨坩堝開裂的現(xiàn)象,從而有效的提高了坩堝的壽命。同時,由于上下部分采用不同的材料,有效減少碳碳
復合材料的使用,節(jié)約了成本。?
聲明:
“上下分體直拉單晶坩堝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)