本實用新型公開了一種內(nèi)置反應(yīng)管分壓式化學(xué)氣相沉滲透鍍膜裝置,包括雙層石英管,雙層石英管包括外層石英管(1)和內(nèi)層石英管(2),所述雙層石英管首端以第一管路(24)連接氬氣氣源(14),所述雙層石英管末端以第二管路(22)連接
真空泵(20),其特征在于,雙層石英管從首端到末端依次包括等離子體反應(yīng)區(qū)、第一加熱區(qū)和第二加熱區(qū),內(nèi)層石英管(2)和外層石英管(1)首端對齊,內(nèi)層石英管(2)末端延伸至第二加熱區(qū),所述等離子體反應(yīng)區(qū)于外層石英管(1)外設(shè)置有等離子極柵(9),等離子極柵(9)連接射頻電源(10)。該裝置可以有效地在陶瓷基質(zhì)
復(fù)合材料內(nèi)部形成多功能涂層,為過濾器提供高剛性和良好的耐化學(xué)性。
聲明:
“內(nèi)置反應(yīng)管分壓式化學(xué)氣相沉滲透鍍膜裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)