本發(fā)明涉及光電探測技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種
鈣鈦礦光電探測器及其制備方法和應(yīng)用。該鈣鈦礦光電探測器包括依次層疊的基底層(1)、絕緣層(2)、鈣鈦礦活性層(3)以及電極(4);其中,在所述絕緣層(2)的下表面上形成有第一光柵結(jié)構(gòu);在所述鈣鈦礦活性層(3)的上表面上形成有第二光柵結(jié)構(gòu);所述第一光柵結(jié)構(gòu)與所述第二光柵結(jié)構(gòu)之間的夾角為0?90°。本發(fā)明的制備方法簡單,能夠增強(qiáng)對光的吸收,并且提高鈣鈦礦結(jié)晶質(zhì)量,使得制備的光電探測器具有光電流大,響應(yīng)速度快,響應(yīng)度高,探測率高的特點(diǎn)。
聲明:
“鈣鈦礦光電探測器及其制備方法和應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)